상세 보기
Nd:YAG Laser를 이용한 Ge 기판의 온도변화에 따른 Stress 특성
초록
Nd:YAG Laser를 이용한 Ge 기판의 온도변화에 따른 Stress 특성을 시뮬레이션하여 연구함.
- 제목
- Nd:YAG Laser를 이용한 Ge 기판의 온도변화에 따른 Stress 특성
- 저자
- CHEON LEE
- 학회명
- 한국전기전자재료학회 2016하계학술대회
- 개최지
- 경주
- 학회 개최일
- 2016-06-22 ~ 2016-06-24
Nd:YAG Laser를 이용한 Ge 기판의 온도변화에 따른 Stress 특성을 시뮬레이션하여 연구함.