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초록
PFCs 는 지구온남화 물질로써 현재 반도체등의 산업체에서 이들에 대한 처리가 이슈로 부각되고 있다. .............................................................. ...............................................................
- 제목
- PFCs 처리를 위한 열플라즈마 공정
- 저자
- DONG WHA PARK
- 학회명
- 2008년도 한국열환경공학회 춘계학술발표회
- 개최지
- 호서대학교 산학협력관
- 학회 개최일
- 2008-05-22 ~ 2008-05-23