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홀로우캐소드플라즈마의 듀얼챔버에 대한 중성입자 유동해석
Neutral Particle Flow Analysis of Hollow Cathode Plasma Dual Chamber
- 제목
- 홀로우캐소드플라즈마의 듀얼챔버에 대한 중성입자 유동해석
- 제목 (타언어)
- Neutral Particle Flow Analysis of Hollow Cathode Plasma Dual Chamber
- 저자
- O BEOM HOAN
- 학회명
- 2011년 대한전자공학회 정기총회 및 추계학술대회
- 개최지
- KAIST
- 학회 개최일
- 2011-11-26 ~ 2011-11-26