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Comparison of High Density Plasma Etching of MgO Thin Films Using Cl2, CH3OH and CH4 Plasmas
- 제목
- Comparison of High Density Plasma Etching of MgO Thin Films Using Cl2, CH3OH and CH4 Plasmas
- 저자
- CHUNG CHEE WON
- 학회명
- 제21회 한국반도체 학술대회
- 개최지
- 한양대학교
- 학회 개최일
- 2014-02-24 ~ 2014-02-26