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CFx 플라즈마 처리를 통한 Ru 박막의 선택적 원자층 증착법 개발

제목
CFx 플라즈마 처리를 통한 Ru 박막의 선택적 원자층 증착법 개발
저자
In-Hwan Baek
학회명
2024 한국화공학회 학술대회
개최지
제주 ICC

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