상세 보기
High density plasma reactive ion etching of Co2MnSi thin films using a CH3OH/Ar gas mixture for magnetic random access memory applications
- 제목
- High density plasma reactive ion etching of Co2MnSi thin films using a CH3OH/Ar gas mixture for magnetic random access memory applications
- 저자
- CHUNG CHEE WON
- 학회명
- 2015년 한국화학공학회 춘계학술대회
- 개최지
- 제주국제컨벤션센터
- 학회 개최일
- 2015-04-22 ~ 2015-04-24