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Investigation on Etch Characteristics of Magnetic Tunnel Junction Stacks in a CH4/O2/Ar Plasma
- 제목
- Investigation on Etch Characteristics of Magnetic Tunnel Junction Stacks in a CH4/O2/Ar Plasma
- 저자
- CHUNG CHEE WON
- 학회명
- 제19회 한국반도체학술대회
- 개최지
- 고려대학교
- 학회 개최일
- 2012-02-15 ~ 2012-02-17