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유도결합 플라즈마 반응성 이온식각에 의한 GeSbTe 박막의 식각 특성

영문제목
제목
유도결합 플라즈마 반응성 이온식각에 의한 GeSbTe 박막의 식각 특성
제목 (타언어)
영문제목
저자
CHUNG CHEE WON
학회명
2005 한국공업화학 추계학술대회

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