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rf 스퍼터된 In2O3-ZnO 박막의 광학적, 전기적 특성에 미치는 스퍼터링 변수의 영향

제목
rf 스퍼터된 In2O3-ZnO 박막의 광학적, 전기적 특성에 미치는 스퍼터링 변수의 영향
저자
CHUNG CHEE WON
학회명
2006년 한국화학공학회 가을 총회 및 학술대회

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