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Inductively coupled plasma reactive ion etching of Cu thin film using O2/Ar plasma
- 제목
- Inductively coupled plasma reactive ion etching of Cu thin film using O2/Ar plasma
- 저자
- CHUNG CHEE WON
- 학회명
- 제25회 한국반도체학술대회
- 개최지
- 강원도 하이원리조트
- 학회 개최일
- 2018-02-05 ~ 2018-02-07