4성분 단일 타겟을 이용한 RF 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 CIGS 박막의 황화열처리의 영향

제목
4성분 단일 타겟을 이용한 RF 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 CIGS 박막의 황화열처리의 영향
저자
CHUNG CHEE WON
학회명
한국태양광발전학회 2013 춘계학술대회
개최지
성균관대학교
학회 개최일
2013-04-29 ~ 2013-04-30