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HBr/Ar 플라즈마를 이용한 ZnO 박막에 대한 식각 특성

제목
HBr/Ar 플라즈마를 이용한 ZnO 박막에 대한 식각 특성
저자
CHUNG CHEE WON
학회명
2006 한국공업화학회 춘계 정기총회 및 연구논문발표회

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