Etch Characteristics of Nanometer Scale Masked MTJ stacks Using Pulse Modulated Plasmas

제목
Etch Characteristics of Nanometer Scale Masked MTJ stacks Using Pulse Modulated Plasmas
저자
CHUNG CHEE WON
학회명
제24회 한국반도체 학술대회
개최지
강원도 대명비발디파크
학회 개최일
2017-02-13 ~ 2017-02-15