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4성분 단일 타겟을 이용한 RF magnetron sputtering에 의한 CIGS 박막 성장의 기판 온도와 열처리 온도에 따른 전기적 특성
- 제목
- 4성분 단일 타겟을 이용한 RF magnetron sputtering에 의한 CIGS 박막 성장의 기판 온도와 열처리 온도에 따른 전기적 특성
- 저자
- CHUNG CHEE WON
- 학회명
- 2012년 한국화학공학회 봄학술대회
- 개최지
- 제주 ICC
- 학회 개최일
- 2012-04-25 ~ 2012-04-27