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influence of Organic Additives to Ethylenediamine on Etch Characteristics of Copper Thin Films Using High Density Plasma
- 제목
- influence of Organic Additives to Ethylenediamine on Etch Characteristics of Copper Thin Films Using High Density Plasma
- 저자
- CHUNG CHEE WON
- 학회명
- 제29회 한국반도체 학술대회
- 개최지
- 강원도 하이원 그랜드호텔
- 학회 개최일
- 2022-01-24 ~ 2022-01-26