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Epitaxial alignment 기반 저온 rutile 상 TiO2 박막 제조와 DRAM 응용성에 대한 연구

제목
Epitaxial alignment 기반 저온 rutile 상 TiO2 박막 제조와 DRAM 응용성에 대한 연구
저자
In-Hwan Baek
학회명
반도체공학회 하계종합학술대회
개최지
여수 컨벤션센터

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