상세 보기
Etch Characteristics of Micrometer-Scale Masked Cu thin films Using Inductively Coupled Plasma of H2/Ar
- 제목
- Etch Characteristics of Micrometer-Scale Masked Cu thin films Using Inductively Coupled Plasma of H2/Ar
- 저자
- CHUNG CHEE WON
- 학회명
- 제25회 한국반도체 학술대회
- 개최지
- 강원도 하이원리조트
- 학회 개최일
- 2018-02-05 ~ 2018-02-07