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Investigation on Etch Characteristics of FePt Magnetic Thin Films Using a CH4/Ar Plasma
- 제목
- Investigation on Etch Characteristics of FePt Magnetic Thin Films Using a CH4/Ar Plasma
- 저자
- CHUNG CHEE WON
- 학회명
- 제40회 한국진공학회 동계학술대
- 개최지
- 보광휘닉스파크
- 학회 개최일
- 2011-02-09 ~ 2011-02-11