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C2F6/Ar 가스를 이용한 TiO2 박막의 유도결합 플라즈마 반응성 이온식각

제목
C2F6/Ar 가스를 이용한 TiO2 박막의 유도결합 플라즈마 반응성 이온식각
저자
CHUNG CHEE WON
학회명
한국공업화학회 추계 정기총회 및 연구논문발표회

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