Surface Pre-treatment in Molybdenum Disulfide Atomic Layer Deposition for Next-generation Channel Materials

제목
Surface Pre-treatment in Molybdenum Disulfide Atomic Layer Deposition for Next-generation Channel Materials
저자
In-Hwan Baek
학회명
제 31회 한국반도체학술대회
개최지
경주 화백컨벤션센터
학회 개최일
2024-01-24 ~ 2024-01-26