상세 보기
Surface Pre-treatment in Molybdenum Disulfide Atomic Layer Deposition for Next-generation Channel Materials
- 제목
- Surface Pre-treatment in Molybdenum Disulfide Atomic Layer Deposition for Next-generation Channel Materials
- 저자
- In-Hwan Baek
- 학회명
- 제 31회 한국반도체학술대회
- 개최지
- 경주 화백컨벤션센터
- 학회 개최일
- 2024-01-24 ~ 2024-01-26