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HBr/Cl2/Ar 가스를 이용한 나노미터 크기로 패턴된 Magnetic Tunnel Junction의 식각 특성

제목
HBr/Cl2/Ar 가스를 이용한 나노미터 크기로 패턴된 Magnetic Tunnel Junction의 식각 특성
저자
CHUNG CHEE WON
학회명
한국공업화학회 추계 정기총회 및 연구논문발표회

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