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고밀도 반응성 이온 식각을 이용한 IrMn 자성 박막의 식각

제목
고밀도 반응성 이온 식각을 이용한 IrMn 자성 박막의 식각
저자
CHUNG CHEE WON
학회명
제40회 한국진공학회 동계학술대
개최지
보광휘닉스파크
학회 개최일
2011-02-09 ~ 2011-02-11

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