상세 보기
Comparison of etch characteristic of Palladium thin films in C, H, O containing gas mixtures
- 제목
- Comparison of etch characteristic of Palladium thin films in C, H, O containing gas mixtures
- 저자
- CHUNG CHEE WON
- 학회명
- 제14회 국제나노기술심포지엄 (Nano Korea 2016 symposium)
- 개최지
- 하이원리조트, 정선
- 학회 개최일
- 2016-07-13 ~ 2016-07-15