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HBr/Ar의 고밀도 플라즈마를 이용한 Indium Zinc Oxide 투명전극의 건식 식각 특성

제목
HBr/Ar의 고밀도 플라즈마를 이용한 Indium Zinc Oxide 투명전극의 건식 식각 특성
저자
CHUNG CHEE WON
학회명
제35회 한국진공학회 하계학술대회
개최지
라마다 프라자 제주 호텔
학회 개최일
2008-08-20 ~ 2008-08-22

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