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High density plasma etching of CoFeB and IrMn magnetic films with Ti hard mask
- 제목
- High density plasma etching of CoFeB and IrMn magnetic films with Ti hard mask
- 저자
- CHUNG CHEE WON
- 학회명
- 제38회 한국진공학회 동계학술대회
- 개최지
- 현대성우리조트
- 학회 개최일
- 2010-02-17 ~ 2010-02-19