상세 보기
Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etching of Cu thin films using Carbon-Based Plasma
- 제목
- Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etching of Cu thin films using Carbon-Based Plasma
- 저자
- CHUNG CHEE WON
- 학회명
- 2021년 한국반도체디스플레이기술학회 추계학술대회
- 개최지
- 온라인
- 학회 개최일
- 2021-11-18 ~ 2021-11-18