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C2F6 가스를 이용한 TiO2 박막의 건식 식각 특성

제목
C2F6 가스를 이용한 TiO2 박막의 건식 식각 특성
저자
CHUNG CHEE WON
학회명
2006 한국공업화학회 추계 정기총회 및 연구논문발표회

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