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Investigation of atomic layer deposited SnO2 thin films for next-generation DRAM electrode application
- 제목
- Investigation of atomic layer deposited SnO2 thin films for next-generation DRAM electrode application
- 저자
- In-Hwan Baek
- 학회명
- 제 32회 한국반도체학술대회
- 개최지
- 강원도 하이원리조트