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High density plasma etching of MgO thin films in Cl2/Ar gases

제목
High density plasma etching of MgO thin films in Cl2/Ar gases
저자
CHUNG CHEE WON
학회명
제38회 한국진공학회 동계학술대회
개최지
현대성우리조트
학회 개최일
2010-02-17 ~ 2010-02-19

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