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Cl2/Ar 가스를 이용한 ZnO 박막의 유도 결합 플라즈마 반응성 이온 식각

제목
Cl2/Ar 가스를 이용한 ZnO 박막의 유도 결합 플라즈마 반응성 이온 식각
저자
CHUNG CHEE WON
학회명
2006 한국화학공학회 봄 총회 및 학술대회

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