ScholarWorks@인하대학교

상세 보기

HBr 가스를 이용한 MgO 박막의 고밀도 반응성 이온 식각

제목
HBr 가스를 이용한 MgO 박막의 고밀도 반응성 이온 식각
저자
CHUNG CHEE WON
학회명
제38회 한국진공학회 동계학술대회
개최지
현대성우리조트
학회 개최일
2010-02-17 ~ 2010-02-19

ScholarWorks@인하대학교

22212 인천광역시 미추홀구 인하로 100 정석학술정보관 Tel. 032-860-9003

COPYRIGHT © 인하대학교 All Rights Reserved.

Certain data included herein are derived from the © Web of Science of Clarivate Analytics. All rights reserved.

You may not copy or re-distribute this material in whole or in part without the prior written consent of Clarivate Analytics.