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Investigation on Etch Characteristics of MgO Thin Films Using a H2O/CH4/Ar Plasma
- 제목
- Investigation on Etch Characteristics of MgO Thin Films Using a H2O/CH4/Ar Plasma
- 저자
- CHUNG CHEE WON
- 학회명
- IUMRS-ICA 2012
- 개최지
- Busan
- 학회 개최일
- 2012-08-27 ~ 2012-08-31