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Cyclic Etching Using Organic Gas/O2 Mixture for Formation of 150 nm Co Line Patterns
- 제목
- Cyclic Etching Using Organic Gas/O2 Mixture for Formation of 150 nm Co Line Patterns
- 저자
- CHUNG CHEE WON
- 학회명
- The 32nd Korean Conference on Semiconductors
- 개최지
- 강원도 하이원 리조트
- 학회 개최일
- 2025-02-12 ~ 2025-02-14