ScholarWorks@인하대학교

상세 보기

C2F6/Ar 플라즈마를 이용한 IZO 박막의 건식 식각

제목
C2F6/Ar 플라즈마를 이용한 IZO 박막의 건식 식각
저자
CHUNG CHEE WON
학회명
한국공업화학회 춘계 정기총회 및 연구논문발표회

ScholarWorks@인하대학교

22212 인천광역시 미추홀구 인하로 100 정석학술정보관 Tel. 032-860-9003

COPYRIGHT © 인하대학교 All Rights Reserved.

Certain data included herein are derived from the © Web of Science of Clarivate Analytics. All rights reserved.

You may not copy or re-distribute this material in whole or in part without the prior written consent of Clarivate Analytics.