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원자층 증착법을 이용한 DRAM 트랜지스터용 InXO 박막

제목
원자층 증착법을 이용한 DRAM 트랜지스터용 InXO 박막
저자
In-Hwan Baek
학회명
2024 한국화공학회 학술대회
개최지
제주 ICC

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