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HBr/Ar 식각가스를 적용한 Zinc Oxide 박막의 식각 특성에 대한 연구
Etching Characteristics of ZnO Thin Films in a HBr/Ar Plasma
- 제목
- HBr/Ar 식각가스를 적용한 Zinc Oxide 박막의 식각 특성에 대한 연구
- 제목 (타언어)
- Etching Characteristics of ZnO Thin Films in a HBr/Ar Plasma
- 저자
- CHUNG CHEE WON
- 학회명
- 제 13회 한국반도체학술대회