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Anisotropic etching of nanometer-scale patterned MTJ stacks under various etch gases
- 제목
- Anisotropic etching of nanometer-scale patterned MTJ stacks under various etch gases
- 저자
- CHUNG CHEE WON
- 학회명
- 한국화학공학회 2017년도 춘계학술대회
- 개최지
- 제주국제컨벤션센터
- 학회 개최일
- 2017-04-26 ~ 2017-04-28