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화학용액 증착법으로 증착시킨 Bi4Ti3O12 박막의 구조와 표면특성
The crystal structure and surface morphology of Bi4Ti3O12 Thin Films prepared chemical solution deposition
초록
Chemical solution deposition법을 이용하여 강유전체인 bismuth titanate (Bi4Ti3O12) 박막을 Pt/Ti/SiO2/Si(100) 기판 위에 증착시켰다. 실험은 용액의 bismuth의 함량과 pre-annealing 조건, final annealing 온도를 변수로 하여 이루어졌다. 실험 결과 용액의 Bi 함량이 증가할수록 c-axis로의 결정화가 이루어졌으며, Bi가 양론비와 10% 과량인 용액을 사용하였을 때 박막의 표면은 비교적 치밀한 구조를 가졌다. Pre-annealing 온도와 final annealing 온도가 증가할수록 역시 c-axis로의 결정화가 관찰되었다. 모든 결과를 종합하여 관찰하였을 때 10% Bi 과량인 용액을 사용하여 pre-annealing과 final annealing을 각각 550℃에서 10분, 700℃에서 1시간동안 제조한 박막의 표면이 가장 치밀하고 큰 grain을 가지는 것을 알 수 있었다.
- 제목
- 화학용액 증착법으로 증착시킨 Bi4Ti3O12 박막의 구조와 표면특성
- 제목 (타언어)
- The crystal structure and surface morphology of Bi4Ti3O12 Thin Films prepared chemical solution deposition
- 저자
- CHUNG CHEE WON
- 학회명
- Proceeding of the 24th KSIEC meeting (한국공업화학회)