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CoFeB과 IrMn 자성 박막의 고밀도 반응성 이온 식각

제목
CoFeB과 IrMn 자성 박막의 고밀도 반응성 이온 식각
저자
CHUNG CHEE WON
학회명
제38회 한국진공학회 동계학술대회
개최지
현대성우리조트
학회 개최일
2010-02-17 ~ 2010-02-19

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