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Phase-Change Memory를 위한 GeSbTe 박막의 고밀도플라즈마 식각
High Density Plasma Etching of GeSbTe Thin Films for Phase-Change Memory
- 제목
- Phase-Change Memory를 위한 GeSbTe 박막의 고밀도플라즈마 식각
- 제목 (타언어)
- High Density Plasma Etching of GeSbTe Thin Films for Phase-Change Memory
- 저자
- CHUNG CHEE WON
- 학회명
- 제 13회 한국반도체학술대회