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Etch Characteristics of MgO Thin Films in Cl2/Ar, CH3OH/Ar, and CH4/Ar Plasmas
- 제목
- Etch Characteristics of MgO Thin Films in Cl2/Ar, CH3OH/Ar, and CH4/Ar Plasmas
- 저자
- CHUNG CHEE WON
- 학회명
- 제44회 한국진공학회 동계정기학술대회
- 개최지
- 보광휘닉스파크
- 학회 개최일
- 2013-02-18 ~ 2013-02-20