Influence of non-corrosive etch gases containing C, H, and O elements on magnetic properties of CoPt superlattice

제목
Influence of non-corrosive etch gases containing C, H, and O elements on magnetic properties of CoPt superlattice
저자
CHUNG CHEE WON
학회명
한국화학공학회 2017년도 춘계학술대회
개최지
제주국제컨벤션센터
학회 개최일
2017-04-26 ~ 2017-04-28