High Density Plasma Etching of Nanometer-Sized Magnetic Tunnel Junction Structure for Magnetic Random Access Memory

자성 메모리를 위한 나노미터 크기의 자기터널접합 구조의 고밀도 플라즈마 식각
제목
High Density Plasma Etching of Nanometer-Sized Magnetic Tunnel Junction Structure for Magnetic Random Access Memory
제목 (타언어)
자성 메모리를 위한 나노미터 크기의 자기터널접합 구조의 고밀도 플라즈마 식각
저자
CHUNG CHEE WON
학회명
2005 한국자기학회 동계학술대회