상세 보기
High Density Plasma Etching of Nanometer-Sized Magnetic Tunnel Junction Structure for Magnetic Random Access Memory
자성 메모리를 위한 나노미터 크기의 자기터널접합 구조의 고밀도 플라즈마 식각
- 제목
- High Density Plasma Etching of Nanometer-Sized Magnetic Tunnel Junction Structure for Magnetic Random Access Memory
- 제목 (타언어)
- 자성 메모리를 위한 나노미터 크기의 자기터널접합 구조의 고밀도 플라즈마 식각
- 저자
- CHUNG CHEE WON
- 학회명
- 2005 한국자기학회 동계학술대회