Radio Frequency Reactive Magnetron Sputtering에 의해 증착된 Indium Zinc Oxide 박막의 전기적 특성과 광학적 특성

제목
Radio Frequency Reactive Magnetron Sputtering에 의해 증착된 Indium Zinc Oxide 박막의 전기적 특성과 광학적 특성
저자
CHUNG CHEE WON
학회명
2006 한국화학공학회 봄 총회 및 학술대회