ScholarWorks@인하대학교

상세 보기

Cl2/Ar 가스를 이용한 Ni 박막의 건식 식각

제목
Cl2/Ar 가스를 이용한 Ni 박막의 건식 식각
저자
CHUNG CHEE WON
학회명
2006년 한국화학공학회 가을 총회 및 학술대회

ScholarWorks@인하대학교

22212 인천광역시 미추홀구 인하로 100 정석학술정보관 Tel. 032-860-9003

COPYRIGHT © 인하대학교 All Rights Reserved.

Certain data included herein are derived from the © Web of Science of Clarivate Analytics. All rights reserved.

You may not copy or re-distribute this material in whole or in part without the prior written consent of Clarivate Analytics.