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Cl2/Ar 가스를 이용한 Gallium Indium Zinc Oxide (GIZO) 박막에 대한 유도 결합 플라즈마 반응성 이온 식각
- 제목
- Cl2/Ar 가스를 이용한 Gallium Indium Zinc Oxide (GIZO) 박막에 대한 유도 결합 플라즈마 반응성 이온 식각
- 저자
- CHUNG CHEE WON
- 학회명
- 제35회 한국진공학회 하계학술대회
- 개최지
- 라마다 프라자 제주 호텔
- 학회 개최일
- 2008-08-20 ~ 2008-08-22