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Layer-by-Layer Etching of Copper Thin Films Using Acetylacetone/O2/Ar Gas Mixture
- 제목
- Layer-by-Layer Etching of Copper Thin Films Using Acetylacetone/O2/Ar Gas Mixture
- 저자
- CHUNG CHEE WON
- 학회명
- 2022 한국공업화학회 춘계 총회 및 학술대회
- 개최지
- ICC, Jeju
- 학회 개최일
- 2022-05-11 ~ 2022-05-13