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하드 마스크(Hard mask) 제작을 위한 TiN 박막의 증착에 관한 연구

제목
하드 마스크(Hard mask) 제작을 위한 TiN 박막의 증착에 관한 연구
저자
CHUNG CHEE WON
학회명
2008 한국공업화학회 춘계 정기총회 및 연구논문발표회
학회 개최일
2008-05-09 ~ 2008-05-10

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