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알콜계 가스를 이용한 CoFeB 박막 식각 후 자력특성 변화 연구

제목
알콜계 가스를 이용한 CoFeB 박막 식각 후 자력특성 변화 연구
저자
CHUNG CHEE WON
학회명
2015년 한국물리학회 춘계학술대회
개최지
대전컨벤션센터
학회 개최일
2015-04-22 ~ 2015-04-24

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