상세 보기
Investigation on High Density Plasma Reactive Ion Etching of CoFeB Thin Films For Nonvolatile Magnetic Random Access Memory
- 제목
- Investigation on High Density Plasma Reactive Ion Etching of CoFeB Thin Films For Nonvolatile Magnetic Random Access Memory
- 저자
- CHUNG CHEE WON
- 학회명
- 2010 한국공업화학회 추계 정기총회 및 연구논문발표회
- 개최지
- 대전컨벤션센터
- 학회 개최일
- 2010-10-27 ~ 2010-10-29